金融界2025年8月2日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京集成电路配备立异中心有限公司请求一项名为“双大马士革工艺办法”的专利,公开号CN120413523A,请求日期为2025年04月。
专利摘要显现,本发明供给一种双大马士革工艺办法,触及半导体技术领域。该双大马士革工艺办法有:在基底上次序构成介电层、图画化的榜首硬掩膜层、榜首平整化层和图画化的第二硬掩膜层;使用第二硬掩膜层干法刻蚀构成停止于基底外表的通孔;去除第二硬掩膜层和榜首平整化层;使用榜首硬掩膜层干法刻蚀构成沟槽;去除榜首硬掩膜层;构成金属层填充通孔和沟槽,以得到双大马士革结构。该工艺办法能确保构成通孔的贯通性、通孔底部区域后续构成金属互连结构的低阻、通路;一起榜首硬掩膜层于通孔构成之后去除,能确保通孔要害尺度的准确传递,进步后续构成金属互连结构要害尺度的准确度,来提高芯片产品良率及器材功能。
天眼查资料显现,北京集成电路配备立异中心有限公司,成立于2019年,坐落北京市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1013950万人民币。经过天眼查大数据分析,北京集成电路配备立异中心有限公司共对外出资了1家企业,参加招投标项目3次,产业线条,此外企业还具有行政许可6个。